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    产品中心

    Product Center

    多模块半自动机

    具备IPA Dry、Spin Dry选择； 可预设多条Recipe,操作简洁、可支持多批次清洗提升产量

    酸碱腐蚀清洗机

    具备IPA Dry、Spin Dry选择； 可预设多条Recipe,操作简洁、可支持多批次清洗提升产量

    有机清洗机

    具备IPA Dry、Spin Dry选择； 可预设多条Recipe,操作简洁、可支持多批次清洗提升产量

    RCA清洗设备

    具备IPA Dry、Spin Dry选择 可预设多条Recipe,操作简洁、可支持多批次清洗提升产量

    炉管清洗设备（Tube Cleaner -立式）

    外形尺寸：L*W*H(单位mm)=2700×2200×2900mm (根据不同清洗规格而定)

    炉管清洗设备（Tube Cleaner -卧式）

    外形尺寸：L*W*H(单位mm)=2600×2900 (包含排风阀，本体2710mm)×3500mm (包含机械臂罩，本体2720mm)

    炉管清洗设备（EPI Cleaner ）

    外形尺寸：L*W*H(单位mm)=3600×1900×2900mm（根据不同清洗规格而定）

    光罩盒清洗设备(Auto POD Cleaner)

    外形尺寸：长*宽*高(单位mm) = 2500mmx1650 mmx 2400 mm
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