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关键词：
多模块半自动机
所属分类：
槽式湿法设备-非标定制
产品附件：
咨询热线：
多模块半自动机
设备功能及信息概述：
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设备特点 |
具备IPA Dry、Spin Dry选择 |
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可预设多条Recipe,操作简洁、可支持多批次清洗提升产量 |
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可根据不同厂务要求制定不同种类的排放方案 |
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可根据不同厂务要求制定不同的供液方案 |
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有效控制金属、材料及微粒子的交叉污染 |
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软件和硬件的模块化设计 |
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软硬件预留MES通讯接口 |
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实时记录生产数据，多种数据分析功能 |
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选配SECS/GEM接口 |
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根据工艺要求，模块化设计，配置Leak Sensor |
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可实现工件数据追溯，具有过点信息、状态监控、故障汇总、订单下发等功能 |
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