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光罩盒清洗设备(Auto POD Cleaner)
所属分类：
片盒清洗设备
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光罩盒清洗设备(Auto POD Cleaner)
设备功能及信息概述：
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外形尺寸 |
长*宽*高(单位mm) = 2500mmx1650 mmx 2400 mm |
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设备重量 |
2000Kg |
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设备特点 |
支援AMHS系统，快速清洗/干燥，可检测POD内温湿度。 |
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设备结构 |
Loadport*1 + Opener*1 + XCDA Purge*1 + Clean Chamber*1 |
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清洗/蚀刻形式 |
Hot DIW喷淋清洗 |
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干燥、控制形式 |
Hot CDA吹扫 + IR烘干 |
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控制方式 |
PC +PLC |
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安全性能 |
光栅检测、Interlock、防呆设计、漏液检测、光罩检测、光罩盒在位检测等配备齐全 |
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应用场所 |
FAB、光罩厂 |
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洁净环境 |
① U17高效过滤器(99.999995%0.12μm)。②离子风棒静电消除 |
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